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更新時(shí)間：2023-04-14 
瀏覽次數(shù)：637近年來，電子束設(shè)備的性能有了顯著提高，但另一方面，允許的磁場也越來越嚴(yán)格。主動式磁屏蔽（磁場消除器）通過3軸磁場控制器以高靈敏度檢測干擾的波動磁場，通過由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產(chǎn)生抵消它的磁場，并抑制磁場線圈內(nèi)部的磁場波動。用于控制和穩(wěn)定線圈的磁場發(fā)生器 通過引入該產(chǎn)品，即使在磁環(huán)境非常不穩(wěn)定的地方，也可以充分展示電子束設(shè)備的性能。
也可以將抵消線圈安裝在設(shè)備的框架上。半導(dǎo)體測量和檢測設(shè)備無需占用大的安裝面積。
主要用途
?電子顯微鏡（TEM/SEM）
?電子束掩模寫入器
?口罩檢查設(shè)備
?質(zhì)譜儀
?聚焦離子束（FIB）
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